光刻機(jī)是什么（光刻機(jī)的工作原理）
光刻機(jī)是什么?
光刻機(jī)又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。光刻機(jī)的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光。
光刻機(jī)的工作原理
光刻機(jī)的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。光刻機(jī)的制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，因此，世界上只有少數(shù)廠家掌握。
編輯：qysb005
標(biāo)簽：
光刻機(jī)是什么
光刻機(jī)的工作原理
掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)
電子工業(yè)
中國企業(yè)新聞網(wǎng)版權(quán)與免責(zé)聲明：
1、中國企業(yè)新聞網(wǎng)所有內(nèi)容的版權(quán)均屬于作者或頁面內(nèi)聲明的版權(quán)人。未經(jīng)中國企業(yè)新聞網(wǎng)的書面許可，
任何其他個(gè)人或組織均不得以任何形式將河南企業(yè)網(wǎng)的各項(xiàng)資源轉(zhuǎn)載、復(fù)制、編輯或發(fā)布使用于其他任何場合；不得把其中任何形式的資訊散發(fā)給其他方，
不可把這些信息在其他的服務(wù)器或文檔中作鏡像復(fù)制或保存；不得修改或再使用中國企業(yè)新聞網(wǎng)的任何資源。若有意轉(zhuǎn)載本站信息資料，
必需取得中國企業(yè)新聞網(wǎng)書面授權(quán)。否則將追究其法律責(zé)任。
2、已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：中國企業(yè)新聞網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
3、凡本網(wǎng)注明“來源：XXX（非中國企業(yè)新聞網(wǎng)）”的作品，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，
并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)。本網(wǎng)轉(zhuǎn)載其他媒體之稿件，意在為公眾提供免費(fèi)服務(wù)。如稿件版權(quán)單位或個(gè)人不想在本網(wǎng)發(fā)布，
可與本網(wǎng)聯(lián)系，本網(wǎng)視情況可立即將其撤除。
